Nitreto de Alumínio

Nitreto de Alumínio (AlN)

Aplicações: fabricação de circuitos integrados que geram elevada quantidade de calor em operação [1]. Aplicações concentram-se principalmente na fabricação de dispositivos eletrônicos [1,2], como substrato e material de encapsulamento para dispositivos eletrônicos, além de ser empregado na fabricação de absorvedor de calor (heat sink), espalhador de calor para laser, ferramenta de corte, componente para sistema óptico-eletrônico e cadinho de fundição [3]. Aplicação na área de ondas acústicas de superfície [5,6] e aplicações para altas frequências, como por exemplo, telefonia celular [5]. Passivação de semicondutores, ressoadores de filmes finos (TFR), dispositivos ópticos acústicos (AO), dispositivos micro eletromecânicos, dispositivos sensores de pH e dispositivos metal isolante semicondutor (MIS) [6].

Características:

elevada condutividade térmica [1, 2, 3,6];
excelentes propriedades físicas [1];
propriedades elétricas [1];
elevada resistência à ruptura dielétrica [1,3];
baixas perdas de energia em alta frequência [1];
elevada resistividade elétrica [1,5];
baixo coeficiente de expansão térmica [1,3], próximo ao do silício [6];
boa dissipação de calor [2];
ampla banda de energia [2];
boas propriedades mecânicas [3];
maior coeficiente piezelétrico [5,6];
elevada dureza [5];
resistência à corrosão [5];
grande taxa de propagação acústica [5];
baixas perdas de transmissão [5];
elevada estabilidade química [6];
emissor de luz azul e ultravioleta [6].

Referências:

Características:

elevada condutividade térmica [1, 2, 3,6];

excelentes propriedades físicas [1];

propriedades elétricas [1];

elevada resistência à ruptura dielétrica [1,3];

baixas perdas de energia em alta frequência [1];

elevada resistividade elétrica [1,5];

baixo coeficiente de expansão térmica [1,3], próximo ao do silício [6];

boa dissipação de calor [2];

ampla banda de energia [2];

boas propriedades mecânicas [3];

maior coeficiente piezelétrico [5,6];

elevada dureza [5];

resistência à corrosão [5];

grande taxa de propagação acústica [5];